1. Vacuum Chamber
Ruang vakum adalah bahagian teras mesin salutan vakum. Fungsi utamanya adalah untuk mewujudkan persekitaran vakum dan mengekalkan proses salutan dalam keadaan vakum. Ruang vakum biasanya diperbuat daripada bahan aloi keluli tahan karat atau aluminium, dengan pengedap vakum yang tinggi dan rintangan kakisan.
2. Sistem pam
Sistem pam adalah salah satu komponen utama mesin salutan vakum. Ia bertanggungjawab terutamanya untuk mengekstrak gas di dalam ruang vakum untuk membuat ijazah vakum mencapai tahap yang diperlukan. Sistem pam biasanya terdiri daripada pam molekul, pam mekanikal dan pam penyebaran. Kombinasi pam yang berbeza boleh mencapai tahap vakum yang berbeza dan kelajuan pam.
3. Peranti pengapit substrat
Peranti pengapit substrat adalah satu lagi komponen penting dalam mesin salutan vakum. Ia digunakan untuk menetapkan bahan substrat untuk bersalut dan mengawal kedudukan dan trajektori pergerakannya. Peranti pengapit substrat biasanya terdiri daripada jadual berputar, mekanisme mengangkat dan pengapit substrat. Pengapit yang berbeza boleh menyesuaikan diri dengan substrat bentuk dan saiz yang berbeza.
4. Sistem Pemanasan
Sistem pemanasan adalah komponen yang diperlukan dalam mesin salutan vakum. Ia boleh memanaskan substrat dan bahan salutan untuk mempromosikan pembentukan salutan dan meningkatkan kualitinya. Sistem pemanasan biasanya dilaksanakan oleh wayar rintangan, pemanasan elektromagnet, pemanasan induksi dan kaedah lain.
5. Sumber salutan
Sumber salutan adalah komponen terakhir dalam mesin salutan vakum. Ia digunakan untuk menyediakan bahan yang perlu disalut, biasanya termasuk logam, seramik, silikon dan bahan lain. Sumber salutan boleh mendepositkan bahan pada substrat oleh rasuk elektron, penyejatan, sputtering dan kaedah lain untuk membentuk salutan yang diperlukan.
Ringkasan: Mesin salutan vakum adalah peranti yang digunakan untuk mengeluarkan lapisan berkualiti tinggi, di mana ruang vakum, sistem pam, peranti pengapit substrat, sistem pemanasan dan sumber salutan adalah komponen utamanya. Komponen ini bekerjasama untuk menyelesaikan proses penyediaan salutan.
