Walaupun terdapat banyak jenis sumber ion, tujuannya pada asasnya adalah sama: pembersihan dalam talian, meningkatkan pengagihan tenaga pada permukaan bersalut, dan memodulasi tenaga gas reaktan. Sumber ion boleh meningkatkan kekuatan ikatan antara filem dan substrat dengan ketara, sementara juga meningkatkan kekerasan filem dan rintangan haus dan kakisan. Untuk lapisan kalis haus -alat, yang biasanya lebih tebal dan tidak memerlukan keseragaman tinggi dalam ketebalan filem, sumber ion dengan tahap arus dan tenaga ion yang lebih tinggi, seperti sumber ion Hall atau sumber ion anolit, boleh digunakan.
Sumber ion anodik beroperasi pada prinsip yang serupa dengan sumber ion Hall. Medan magnet yang kuat digunakan dalam celah anulus (segi empat tepat atau bulat) sempit, mengionkan gas kerja di bawah pengaruh anod dan menghalakannya ke arah bahan kerja. Sumber ion anodik boleh dibuat sangat besar dan panjang, menjadikannya sangat sesuai untuk menyalut bahan kerja yang besar, seperti kaca seni bina. Mereka juga menawarkan arus ion yang agak besar. Walau bagaimanapun, arus ion mereka lebih meresap, dan taburan tahap tenaga terlalu luas. Ia biasanya sesuai untuk bahan kerja yang besar, kaca, permukaan kasar dan komponen hiasan. Walau bagaimanapun, aplikasi mereka dalam salutan optik lanjutan tidak meluas.
Walaupun terdapat banyak jenis sumber ion, tujuannya pada asasnya adalah sama: pembersihan dalam talian, meningkatkan pengagihan tenaga pada permukaan bersalut, dan memodulasi tenaga gas reaktan. Sumber ion boleh meningkatkan kekuatan ikatan antara filem dan substrat dengan ketara, sementara juga meningkatkan kekerasan filem dan rintangan haus dan kakisan. Untuk lapisan kalis haus -alat, yang biasanya lebih tebal dan tidak memerlukan keseragaman tinggi dalam ketebalan filem, sumber ion dengan tahap arus dan tenaga ion yang lebih tinggi, seperti sumber ion Hall atau sumber ion anolit, boleh digunakan.
Sumber ion anodik beroperasi pada prinsip yang serupa dengan sumber ion Hall. Medan magnet yang kuat digunakan dalam celah anulus (segi empat tepat atau bulat) sempit, mengionkan gas kerja di bawah pengaruh anod dan menghalakannya ke arah bahan kerja. Sumber ion anodik boleh dibuat sangat besar dan panjang, menjadikannya sangat sesuai untuk menyalut bahan kerja yang besar, seperti kaca seni bina. Mereka juga menawarkan arus ion yang agak besar. Walau bagaimanapun, arus ion mereka lebih meresap, dan taburan tahap tenaga terlalu luas. Ia biasanya sesuai untuk bahan kerja yang besar, kaca, permukaan kasar dan komponen hiasan. Walau bagaimanapun, aplikasi mereka dalam salutan optik lanjutan tidak meluas.
Sumber ion Hall dalam amesin salutan vakummengionkan gas proses di bawah bantuan medan magnet paksi yang kuat. Ketidakseimbangan kuat medan magnet paksi ini memisahkan ion gas dan membentuk pancaran ion. Oleh kerana kekuatan medan magnet paksi, rasuk ion sumber ion Hall memerlukan elektron tambahan untuk meneutralkan aliran ion. Sumber peneutralan biasa ialah filamen tungsten (katod).
