Mesin salutan vakum magnetron sputtering

Mesin salutan vakum magnetron adalah teknologi pemendapan wap fizikal (PVD) yang digunakan secara meluas. Intinya adalah menggunakan medan magnet untuk menghalang pergerakan elektron, meningkatkan kecekapan sputtering dan kualiti filem.

Ciri terasnya ialah penggunaan medan magnet untuk menghalang trajektori pergerakan elektron, dengan ketara meningkatkan kecekapan dan kadar pemendapan.

Ia digunakan secara meluas dalam peralatan rumah tangga, jam, kepala golf, seni dan kraf, mainan, reflektor cahaya kereta, kerang butang telefon bimbit, instrumen dan meter, plastik, kaca, seramik, jubin dan lapisan hiasan permukaan lain dan lapisan berfungsi untuk alat dan acuan.

 

Ia mempunyai kelebihan dalam bidang penyaduran filem ultra hitam, filem hiasan emas tulen, filem konduktif, dan lain-lain.

Medan magnet menguruskan elektron

Kadar pengionan tinggi, kadar pemendapan cepat, kecekapan pengeluaran yang tinggi

Kadar sputtering yang tinggi

Pemendapan suhu rendah

Kualiti filem yang tinggi:

Lekatan kuat, kekompakan, kawalan komposisi yang baik, keseragaman yang baik

Mesin salutan vakum magnetron mencapai kadar pengionan yang tinggi, kadar sputtering yang tinggi dan pemendapan suhu rendah berdasarkan ciri terasnya elektron medan magnet.

Ini membawa kelebihan yang ketara seperti kecekapan pemendapan yang tinggi, pelbagai aplikasi substrat (terutamanya substrat dengan rintangan haba yang lemah), kualiti filem yang sangat baik (lekatan kuat, ketumpatan, komposisi yang dikawal, keseragaman yang baik), dan fleksibiliti proses yang kuat.

Kelebihan ini menjadikannya salah satu teknologi PVD yang disukai atau arus perdana dalam banyak bidang seperti salutan optik, mikroelektronik/semikonduktor, sel solar, paparan panel rata, salutan keras alat, lapisan hiasan, lapisan tahan haus dan tahan kakisan, dan filem berfungsi.